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先进材料实验中心举办第37期“材料分析测试技术学堂”

双束电子显微镜(Dual Beam)的基本原理及应用

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2023年3月28日上午9:30,由yl6809永利官网先进材料实验中心主办的“材料分析测试技术学堂”第37期——“双束电子显微镜(DualBeam)的基本原理及应用”在5号教学楼1011会议室举行。讲座邀请了Tescan公司的应用技术工程师高佳宝,对双束电子显微镜(DualBeam)的基本原理及其在材料结构表征、微区三维重构以及刻蚀加工等多方面应用进行了详细介绍,学校30余名师生参加了此次讲座。


双束电子显微镜(DualBeam)是将聚焦离子束(FIB)和扫描电子显微镜(SEM)相结合,既具有常规场发射扫描电镜的高分辨成像功能,又可对材料和器件进行刻蚀、沉积、离子注入等微纳加工工作,还可以实现FIB对试样加工的同时利用SEM进行实时观测。 双束电子显微镜(DualBeam)已成为材料微纳米尺度研究的重要方法和手段,常用于微纳器件、金属、半导体以及多层膜结构等的分析表征,在材料二维、三维表征分析、材料制备加工等方面得到了广泛应用。

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“材料分析测试技术学堂”是实验中心搭建的培养学生科研能力的特色学习平台,自创办以来,已举办三十余期,深受广大师生欢迎。通过与技术工程师的面对面交流,学校师生表示不仅对双束电子显微镜有了初步了解,学到了很多原理性知识,而且感受到了双束电镜的强大功能,对今后的测试表征和科学研究很有帮助。此次讲座拓宽了同学们的视野,活跃了大家的思维,取得了非常好的效果。

今后,先进材料实验中心将继续面向广大师生需求,举办更加精彩的分析测试技术类培训和讲座,充分发挥公共实验平台在“双一流”建设中的重要作用。






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